ME-0405主動(dòng)式減震系統(tǒng)MEIRITZ明立精機(jī)

ME-0405主動(dòng)式減震系統(tǒng)MEIRITZ明立精機(jī)

桌上型主動(dòng)式減震系統(tǒng)ME-0405,ME-0506

桌上型主動(dòng)式減震系統(tǒng)ME系列概要：

是一個(gè)具有6自由度主動(dòng)控制的桌面型減振系統(tǒng)。

實(shí)時(shí)監(jiān)測搭載板的振動(dòng)，并通過內(nèi)置的執(zhí)行器施加反相力進(jìn)行振動(dòng)控制。

進(jìn)行三維（六自由度）控制。

用途：

顯微鏡系統(tǒng)

計(jì)測?計(jì)量機(jī)器

納米表面分析

特點(diǎn)：

6自由度主動(dòng)控制。搭載板的振動(dòng)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，并通過內(nèi)置的執(zhí)行器施加反相力進(jìn)行振動(dòng)控制。進(jìn)行三維（六自由度）控制。

活性控制所需的增益調(diào)整通過明立精機(jī)的原創(chuàng)控制系統(tǒng)自動(dòng)優(yōu)化。

不受搭載物左右的減震性能。通過檢查裝置結(jié)構(gòu)，現(xiàn)在即使是像小型SPM這樣的輕量載荷也能在不降低減振性能的情況下使用。